VIRGO. L’antenna interferometrica laser realizzata dall’INFN di Pisa per scrutare l’universo

Un esempio applicativo di Clean Room Hi-tech dedicato ad un affascinante esperimento scientifico di osservazione delle onde gravitazionali ai confini con la fantascienza
Camilli C. - Popolizio P.
Dicembre 2000

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Nel controllo della contaminazione su fette da 300 mm, attenzione all’attrazione elettrostatica!

Gli effetti dell’attrazione elettrostatica ed il suo ruolo nel controllo della contaminazione saranno probabilmente più preoccupanti con le fette da 300 mm, persino in camere bianche in classe ISO 3 (Classe 1); se questo problema potenziale non sarà preso in considerazione, una linea potrebbe trovarsi ad affrontare un aumento del 20% nelle particelle depositate su fetta per passata, su tutte le attrezzature
Levit L.B. - Hanley T.M. – Curran F.
Dicembre 2000

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Camere pulite nel campo della meccanica di precisione - 2^a parte

Sul n. 4/1999 di Ascca News a pag. 32 avevamo già illustrato una piccola applicazione delle camere pulite per il controllo della contaminazione nella fase finale di produzione di pezzi meccanici di precisione. I prodotti assemblati, controllati, collaudati e imballati erano cuscinetti a sfera destinati ai reattori degli aerei. Gli impianti descritti in questo articolo non hanno le stesse dimensioni, in quanto si tratta di cuscinetti di diametro più piccolo, ma prodotti in quantità maggiori e con caratteristiche qualitative equivalenti: i cosiddetti cuscinetti “precisi”. Questo studio non si svolge in un laboratorio , come per il primo impianto, ma in reparti di grandi dimensioni (raggiungendo una superficie di circa 800 m²
Maillard L.
Marzo 2001

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Prevenzione della contaminazione molecolare

Oggigiorno l’interesse circa la contaminazione chimica all’interno di una cleanroom è in netto aumento. Le concentrazioni delle differenti specie di gas sono di gran lunga superiori ai quantitativi di polvere che vengono in contatto con una data superficie. Questo fenomeno è conosciuto come “Airborne Moleculare Contamination” (AMC). In questo articolo viene dimostrata l’esistenza di nuovi prodotti che consentono di minimizzare l’emissione di AMC ed il suo controllo all’interno di una cleanroom
Forslund M. - O’Reilly S.
Giugno 2001

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Nuovo complesso industriale per la produzione di circuiti elettronici in film sottile – 1^a parte

Lo stabilimento al quali ci si riferisce è la Filtech di Agrate Brianza (MI) ed è entrato in produzione nell’agosto 2001; usufruendo di un fabbricato esistente di ottima fattura, tutti gli impianti e tutte le attrezzature di produzione sono stati realizzati in meno di sei mesi comprendendo in questo periodo la progettazione di principio e quella esecutiva effettuata dall’ufficio tecnico della Generaltermica in stretta collaborazione con i tecnici della Filtech
Prete F.
Giugno 2002

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Nuovo complesso industriale per la produzione di circuiti elettronici in film sottile - 2^a parte

Lo stabilimento al quali ci si riferisce è la Filtech di Agrate Brianza (MI) ed è entrato in produzione nell’agosto 2001; usufruendo di un fabbricato esistente di ottima fattura, tutti gli impianti e tutte le attrezzature di produzione sono stati realizzati in meno di sei mesi comprendendo in questo periodo la progettazione di principio e quella esecutiva effettuata dall’ufficio tecnico della Generaltermica in stretta collaborazione con i tecnici della Filtech
Prete F.
Settembre 2002

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Metodi di controllo dell’elettricità statica nelle camere bianche

Nell’articolo vengono individuati i metodi di controllo sulle cariche elettrostatiche in camera bianca indicandone i sistemi di prevenzione
Joppolo J.C.
Dicembre 2003

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Un approccio innovativo al monitoraggio dei contaminanti volatili

Le particelle non rappresentano più il maggior problema di contaminazione per l’industria dei semiconduttori. I tecnici della STMicroeletronics e della SAES Getters riferiscono sull’uso di un sistema combinato di analisi, installato e valutato presso lo stabilimento della ST ad Agrate
Illuzzi F. - Sonego P. - Landoni C. - Solcia C. - Succi S.
Giugno 2004

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Il controllo della contaminazione in elettronica

Si presentano in modo non specialistico il ruolo, l’importanza ed alcuni metodi del controllo di contaminazione applicato all’industria elettronica. Dopo un esame del mercato e di alcuni prodotti sensibili, si precisa il concetto di contaminazione e si elencano alcune categorie di contaminanti. Descritti i principali metodi d’azione del controllo, se ne esaminano alcuni esempi pratici d’applicazione concludendo che il controllo contaminazione è un’importante tecnologia ausiliaria, addirittura indispensabile in alcuni casi, come per esempio in microelettronica
Tonti A.
Settembre 2004

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Come ridurre i costi operativi globali (CoO) inserendo le funzioni di controllo nella confezione dei gas elettronici

Nella produzione dei semiconduttori il contenitore più sicuro ed affidabile per la conservazione e il trasporto delle specialità gassose è rappresentato dalla bombola ad alta pressione. Questi contenitori sono usati prevalentemente in armadi gas (gas cabinets) che alimentano le principali linee di distribuzione fino ai punti di utilizzo. Abbiamo trovato che fosse vantaggioso trasferire alcune delle funzioni che controllano la pressione, il flusso e la purezza del gas lontano dal pannello dell’armadio gas, dove solitamente vengono situati, integrandole direttamente nel contenitore della bombola stessa. In questo lavoro, metteremo in evidenza una serie di queste funzioni integrate, e dimostreremo quanto possono portare ad un risparmio e ad un qualità di prodotto abbassando comunque il costo operativo
Downie N.A. – Hart J.J. -. Irven J. - Parise R.E.- Pearlstein R.M. -  VanOmmeren J.
Dicembre 2004

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Selezione di materiali di costruzione a basso degasaggio per camere bianche

Nel lavoro si propone un semplice modello adimensionale per l’evoluzione di AMC dalle superfici lambite dall’aria, e per valutare la concentrazione di THC e condensabili nell’aria. Si esaminano i vari materiali, assieme ad alcuni dati sui tassi di degasaggio reperibili in letteratura, e si giunge alla conclusione che sarà possibile soddisfare i requisiti ITRS con selezione dei materiali e filtrazione chimica dell’aria. Il problema della formulazione di una norma sul tasso di degasaggio dei materiali risulta oggi di soluzione macchinosa
Tonti A.
Settembre 2005

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ESD, EMI, ESA: facciamo chiarezza

Nel campo dei semiconduttori si ha un massiccio uso di termini come ESD, EMI ed ESA con un’accezione negativa. L’analisi di questi fenomeni aiuterà ad affrontare queste situazioni con più ottimismo
Grioni D.
Giugno 2008

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Energy saving nella cleanroom - riduzione della velocità dell’aria nei filtri HEPA e rilevazione impatto sui parametri ambientali in una cleanroom per semiconduttori

Il concetto di energy saving sta portando a modificare le modalità di gestione degli ambienti a contaminazione controllata. Sempre più vi è l’esigenza di ottimizzare i costi di gestione. Ciò si può ottenere attraverso tutta una serie di attività volte ad esaminare ogni aspetto del controllo particellare e microbiologico nonché le condizioni termoigrometriche della camera bianca (temperatura, umidità e pressione). Attraverso un caso di studio, viene presentata l’ottimizzazione dei costi di gestione in una cleanroom nella produzione di semiconduttori
Grioni D.
Dicembre 2009

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